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Donnerstag, 03. März 2011

09:00 Registrierung

11:00 Begrüßung durch Frau Carmen Gehring, Bundesministerium für Bildung  und Forschung

11:10 Impulsvortrag

Mikro-Nano-Integration als Innovationstreiber
für die Technik von morgen P. Coskina, VDE/VDE-IT GmbH, Berlin

11:20 Vorstellung der Projekte – Teil 1 (5 Minuten pro Projekt)

• Aerosoldruck als innovative Technologie für HFSensoren (AeroSens)
  Design und flexible Integration von Sensoren (DEFIS)
• Neue Sensorstrukturen und Aufbautechniken auf dreidimensionalen Trägern
• mittels Inkjet Druck nanoskaliger Dispersionen (SADINA)
• Gedruckt Integrierte Sensoren als preiswerte MNITechnologie für
• Massenanwendungen (GIS)
• Gedruckte Nanomaterialien für die Mikrosensorik
  (PRINTS)
• Nanoskalige gedruckte Hybridmaterialien als aktive Funktionselemente in nanostrukturierten Sensorbauteilen (PrintSens)
• Hybrid-Sensorik - C-basierte piezoresistive hybride Nanostrukturen für die Sensorik (C-Hybrid)
• Integration massengedruckter Carbon Nanotube Sensorelemente in Mikrosysteme  (CarboSens)

12:00 Diskussion

13:00 Mittagsimbiss

14:00 Vorstellung der Projekte – Teil 2 (5 Minuten pro Projekt)

• Mikrotechnischer Taupunktsensor mit nanostrukturierten Kondensationskeimen zur schnellen Bestimmung minimalster Feuchteanteile  in Gasen (NanoTau)
• Nanotechnologie basiertes Mikrosystem zum insitu-
  Fluidmonitoring (NaMiFlu)
• Nanostrukturierte Oberflächen für steuerbare
  optische Komponenten (NANO3PT)
• Nanotechnologische Rezeptorschichten zur
  verbesserten Spurengasdetektion (NanoGasFET)
• Langzeitstabile katalytische Gassensoren mit geringem Energieverbrauch sowie hoher Resistenz gegen Katalysatorgifte (KatSense)
• 3-Dimensionale Mikro-Nano-Integration für die Gasflusssensorik (3-DOING)
• Skalenübergreifende Integration von Nanodraht- Heterostrukturen mit optischen Mikrosystemen für innovative chemische Sensoren (SINOMICS)
• Integrierte hochauflösende nanomodifizierte Multi- Elektroden-Arrays (InMEAs)
• Nanowire-basierte parallele Bioanalytik auf der Basis von dielektrophoretisch präparierten integrierten Chipsubstraten (NAWION)

14:45 Diskussion und Kaffee

 
15:45 Vorstellung der Projekte – Teil 3 (5 Minuten pro Projekt)

• Modularer Aufbau von Systemen mit nanomodifizierten Oberflächen für Automobil- und Industrie-Sensorik (MANOS)
• Grenzflächendiffusion und Adhäsionsverhalten nanostrukturierter Epoxidharzverbunde in Sensorapplikationen (DianaSens)
• Elektromechanische Sensoren mit eindimensionalen Nanoobjekten (ELEMENT)
• Implantierbare, elastische nanofunktionalisierte Polysiloxan-Strukturen für Anwendungen in der Neuroprothetik (elaN)
• Fluidischer Partikel-Transport an Grenzflächen durch aktorisch bewegte Mikrohaare mit schaltbarer Nanostrukturierung (PaTra)
• Intelligente Mikrosensoren zur breitbandigen Charakterisierung von Fluiden(InMischung)
  
• Flexible Elektroden für miniaturisierte dielektrische Elastomer-Aktoren auf Basis von leitenden Nanopartikeln (InterSoft)
• Nanostrukturen als Aktoren in Mikropumpe (NanoMiPu)

 16:25 Diskussion und Kaffee

 17:30 Abschluss des ersten Tages

Freitag, 04. März 2011

08:30 Einführungsvortrag

Nanopartikel und Oberflächenmodifikationen in der Mikro- und Nanointegration H. Sandmaier, Universität Stuttgart

09:00- Kurzvorträge

09:50 je 5 Minuten mit anschließender Posterdiskussion in der Kaffeepause

Erzeugung von Nanostrukturen und Meta- Materialien in/auf Mikrosystemen

A. Finn(1), A. Jahn(1), R. Kirchner(2), U. Künzelmann(1), J. He(1), M. Waegner(1), W.-J. Fischer(1,2)

(1) Technische Universität Dresden

(2) Fraunhofer IPMS, Dresden

Integration von passiven und aktiven Bauelementen mittels innovativer Drucktechniken

F. Schön, J. Keck, H. Willecka, W. Eberhardt, HSGIMAT, Stuttgart; B. Polzinger, H. Kück, IZFM, Universität Stuttgart

Erzeugung nadelförmiger Nanostrukturen aus Aluminiumnitrid (AlN) durch reaktives Plasmaätzen 

S. Leopold, T. Polster, T. Geiling, M. Hoffmann, Technische Universität Ilmenau

 S. Quednau, H. F. Schlaak, Technische Universität

 AVT von Nanostrukturen von und mit Nanostrukturen in/auf Mikrosystemen

Niedrigtemperatur-Transfer von vertikal ausgerichteten Kohlenstoff Nanoröhren auf Mikrostrukturen

C. Nick (1), R. Joshi(2), C. Thielemann(1), J. J. Schneider(2)

1: Hochschule Aschaffenburg

2: Technische Universität Darmstadt

N. Boufercha, J. Sägebarth, H. Sandmaier, Universität Stuttgart

N. Lange(1, 2) , F. Wippermann (2 )R. Leitel(2), C. Bruchmann(1, 2), E. Beckert(2), R. Eberhardt(2), A. Tünnermann (1, 2)

1 :Friedrich-Schiller-Universität Jena

2: Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik, Jena

Ch. Leiterer1, St. Berg1, A. P. Eskelinen1, M. Urban(1), A. Csáki(1), W. Fritzsche(1)

1: Institut für Photonische Technolgien e.V., IPHT, Jena

2: Department of Applied Physics, Aalto University School of Science and Technology, Helsinki

Bestimmung von Eigenspannungen im Mikro- Nano-Übergangsbereich mit verschiedenen Analysemethoden – Möglichkeiten und Grenzen

D. Vogel(1), E. Auerswald(1), A. Gollhardt(2), B. Michel(1,2)

1: Fraunhofer-Institut ENAS, Chemnitz

2: Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM, Berlin

T. Härtling, Fraunhofer-Institut IZFP, Dresden;

09:50 Diskussion und Kaffeepause

11:45 Mittagspause

13:00 Einführungsvortrag

13:30- Kurzvorträge

14:25 je 5 Minuten mit anschließender Posterdiskussion in der Kaffeepause

Untersuchungen zur Nanoporosität von AIN Membranen

T. Polster, S. Leopold, T. Stauden, M. Hoffmann,

Grenzflächendiffusion und Adhäsionsverhalten nanostrukturierter Epoxidharzverbunde in Sensorapplikationen

H. Walter, J. Bauer, O. Hölck, K.-F. Becker, T. Braun, O. Wittler, Fraunhofer-Institut IZM, Berlin; J. Keller, Amic GmbH, Berlin ; B. Wunderle, Technische Universität Chemnitz