Der Workshop bietet die Möglichkeit, eigene Forschungsergebnisse in Form von Poster-Beiträgen zu präsentieren. Jede Poster-Session wird durch Kurzpräsentation der jeweiligen Poster (ca. 5 min je Poster) durch die Autoren eingeleitet. Daran anschließend gibt es ausreichend Zeit zur Diskussion vor den Postern.

Ausgewählte, besonderes innovative Beiträge werden in der Folge des Workshop eingeladen, einen (englischsprachigen) Beitrag für eine Sonderausgabe der Micro-Nano-Letters des IET einzureichen. Die Paper werden einem Reviewprozess unterzogen und dann in einer fokussierten Ausgabe veröffentlicht werden.

Bitte reichen Sie bis zum

20. Dezember 2008

eine einseitige Kurzfassung (mit 1-2 Bildern) als PDF-Datei ein. Diese sollte enthalten: Titel, Name(n) und Anschrift(en) des / der Verfasser, kompakte Darstellung der Forschungsarbeiten zur MNI.

Senden Sie Ihren Beitrag bitte an

conference-papers@vde.com

unter Angabe des Workshoptitels „Mikro-Nano-Integration”.

Das Programmkomitee benachrichtigt die Anmelder bis zum 15. Januar 2009 über die Annahme.

Das vollständige Manuskript mit bis zu 6 Seiten ist bis spätestens zum 12. März 2009 per Email als PDF-Datei an die o.g. Email einzureichen. Eine Vorlage wird mit der Benachrichtigung über die Annahme versandt. Der Tagungsband wird im Nachgang zum Workshop als CD an die Teilnehmer verschickt.

Themen

● Erzeugung von Nanostrukturen in / auf Mikrosystemen

• Selbstorganisierende Prozesse (subtraktiv, additiv)
• Lithografische Prozesse
• Neue Verfahren

● Geordnete Montage von Nanostrukturen in / auf Mikrosystemen

• Werkzeuge für die MNI, Mikrorobotik
• Selbstorganisation
• Verfahren zum Handhaben von Nanoobjekten
• Füge- und Trennprozesse
• Überwachung von Nanomontage-Prozessen

● Eigenschaften funktionaler Nanostrukturen in Mikrosystemen

• Physikalische Eigenschaften
• Interface zu lebenden Zellen
• Chemische Wechselwirkungen

● Anwendungen der MNI

• Aufbau- und Verbindungstechnik
• Sensorik
• Aktorik
• Optik
• Funktionalisierung von Elektronik
• Chemie / Energie
• Mikrofluidik

● Co-Simulation von Mikro- und Nanostrukturen

• „hybride Simulation”
• Systemsimulation

● Co-Effekte von Nanostrukturen in Mikrosystemen

• Wechselwirkungen
• Risiken für Produkt und Anwender

● Messverfahren zur Charakterisierung von Nanostrukturen

• in Mikrosystemen
• Fragen der Qualitätssicherung
• Prozesskontrolle

● Anforderungen an die MNI für konkrete Anwendungsfelder aus Sicht industrieller Nutzer

• Produktionsverfahren
• Integration in bestehende Fertigungen

Nicht adressiert werden Nanotechnologien ohne Bezug zur Mikrosystemtechnik, die Herstellung von Nanopartikeln oder Fragestellungen der Mikrosystemtechnik ohne Nutzung von Nanostrukturen.