Die Mitglieder des GMM Fachausschusses 4.7:
| M. Hoffmann |
TU Ilmenau (Vorsitzender) |
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| T. Braun |
FhG IZM, Berlin |
| P. Coskina |
VDI/VDE Innovation + Technik GmbH, Berlin |
| W. Fritzsche |
IPHT Institut für Photonische Technologien, Jena |
| R. Gerbach |
FhG IWM, Halle |
| F. Greiner |
TU Darmstadt |
| J. Grimm |
Westsächsische Hochschule Zwickau |
| G. Grützner |
micro resist technology GmbH, Berlin |
| K. Hartz |
Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover |
| S. Hecht |
IMN MacroNano® TU Ilmenau |
| M. Heimann |
TU Dresden |
| M. S. Jäger |
FhG IBMT, Potsdam |
| E. Just |
Swissbit Germany AG, Berlin |
| J. Keller |
AMIC GmbH, Berlin |
| U. Kirsch |
Micromotion GmbH, Mainz |
| E.-B. Kley |
Friedrich-Schiller-Universität, Jena |
| R. Kokozinski |
FhG IMS, Duisburg |
| K. Kühl |
FhG IZM Dienstleistungszentrum MST, München |
| B. Lauche |
Photronics MZD GmbH, Dresden |
| B. Michel |
FhG IZM, Berlin |
| J. Müller |
IMN MacroNano® TU Ilmenau |
| R. Müller-Fiedler |
Robert Bosch GmbH, Stuttgart |
| E. Peiner |
TU Braunschweig |
| J.-U. Pfeiffer |
FhG IPMT, Dresden |
| M. Philipps |
Endress + Hauser GmbH & Co.KG, Maulburg |
| H. Sandmaier |
Universität Stuttgart |
| T. Schanze |
FH Gießen-Friedberg |
| H. Schlaak |
TU Darmstadt |
| D. Schlenker |
FhG IPA, Stuttgart |
| R. Schnabel |
VDE/VDI-GMM, Frankfurt |
| A. Sill |
Carl von Ossietzky Universität Oldenburg |
| G. Spitzlsperger |
Landshut Silicon Foundry GmbH |
| H. Töpfer |
IMMS gGmbH, Ilmenau |
| G. Tschulena |
sgt Sensor Consulting, Wehrheim |
| A. Weber |
FhG IGB, Stuttgart |
| M. Zwanzig |
FhG IZM, Berlin |