Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik
2. GMM Workshop
10./11. Mai 2010
Darmstadtium, Darmstadt
Terminplan
Einsendung von Abstracts: 15.01.2010
Benachrichtigung der Autoren: 10.02.2010
Deadline für Papers: 19.03.2010
"Die obere Abbildung zeigt ein Mikrorelais aus galvanisch abgeschiedenem Nickel und photolithographisch strukturierten elektrothermischen Aktoren. Die Nickelstruktur wird dabei in eine verlorene Form aus dem Negativresist SU-8 2025 abgeschieden. Bei den elektrothermischen Aktoren wird der gleiche Resist als Konstruktionswerkstoff eingesetzt." (Technische Universität Darmstadt, Institut EMK)