09:00 |
Beginn des 2. Workshop-Tages |
12:45 |
Impulsvortrag MNI-basierte Sensorik zur Zustandsüber-wachung von Hydraulik- und Schmiersystemen: Zustandsorientierte Instandhaltung, Erhöhen der Verfügbarkeit, Ressourcenschonung |
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H. Mannebach, HYDAC ELECTRONIC GmbH, Saarbrücken |
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Kurzvorträge – Mikrosensorik u. Messtechnik |
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je 7 Minuten, anschließend Posterdiskussion |
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Elektrisch-angeregte Plasmonenresonanzen in metallischen Hybrid-Nanostrukturen als innovatives Sensorkonzept für die Bioanalytik |
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A. Dathe, M. Ziegler, U. Hübner, O. Stranik, W. Fritzsche, Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (IPHT) Jena |
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Nanostrukturen als Problemlöser – Emissionserhöhung und Interferenzvermeidung am Beispiel eines IR-basierten Fluidsensors |
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L. Müller1, S. Günschmann1, M. Fischer1, J. Müller1, I. Käpplinger2, S. Biermann3, W. Brode2, M. Hoffmann1 1 IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau 2 Siegert TFT GmbH, Hermsdorf 3 Micro-Hybrid Electronic GmbH, Hermsdorf |
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Kalibrierbarer Mikrokraftsensor zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten |
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T. Frank1, C.Löbner1, S. Völlmeke1, A. Steinke1, L. Doering2 1 CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH, Erfurt 2 Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin |
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Selective surface modification of silicon microcantilever sensors with micro/nanostructures |
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H. S. Wasisto1,4, F. Yu1,4, F. Steib1,4, L. Doering2, U. Brand2, S. Völlmeke3, A. Waag1,4, E. Peiner1,4 1 Technische Universität Braunschweig 2 Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig 3 CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH, Erfurt 4 Laboratory of Emerging Nanometrology, Braunschweig |
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Localized Collection of Airborne Analytes: A Transport Driven Approach to Improve the Response Time of Existing Gas Sensor Designs including SERS based Detection of Small Molecules |
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J. Fang1, Se-Chul Park1, L. Schlag2, T. Stauden2, J. Pezoldt2 , H. O. Jacobs2 1 University of Minnesota, Minneapolis, USA 2 IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau |
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Genzflächendiffusions- und Adhäsionsverhalten von Epoxidharzen für mikroelektronische Sensorapplikationen |
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H. Walter1, J.Bauer1, T.Braun1, O.Hölck1,2, B.Wunderle2, M.Schulz3 ,J. Keller3, O.Wittler1, K. D. Lang1,4 1 Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration, Berlin 2 TU Chemnitz 3 Amic Angewandte Micro-Messtechnik GmbH 4 TU Berlin |
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Selektive Erzeugung von Nanostrukturen auf einer Waferoberfläche zur Realisierung von optischen und mechanischen Funktionen beim Aufbau eines Echtzeitölsensors |
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S. Günschmann, L. Müller, M. Fischer, M. Hoffmann, J. Müller, IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau |
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Funktionale Integration bei magnetoresistiven Sensoren |
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R. Slatter1, H. Grimm2, C. Glenske1 1 Sensitec GmbH, Lahnau 2 Sensitec GmbH, Mainz |
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Integrated opto-chemical sensor system based on group III-nitride nanowires |
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R. Kleindienst1, M. Krüger1, A. Grewe1, S. Sinzinger1, K. Holc2, J. Schätzle2, V. Cimalla2, U.T. Schwarz2,3, P. Becker4, P. Hille4, J. Schörmann4, J. Teubert4, M. Eickhoff4 1 IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau 2 Fraunhofer Institut für Angewandte Festkörperphysik, Freiburg, 3 IMTEK, Universität Freiburg 4 Justus-Liebig-Universität Gießen |
12:00 |
Round Table Gespräch: MNI & Industrie 4.0 |
12:45 |
Mittagspause |
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Foyer des Meitnerbaus |
13:30 |
Kurzvorträge – AVT und Zuverlässigkeit |
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je 7 Minuten, anschließend Posterdiskussion |
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Mikro- und nanoskalige, mechanische Charakterisierung von MEMS für Zuverlässigkeitsbewertungen |
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D. Vogel, E. Auerswald, J. Brückner, B. Michel, S. Rzepka, Fraunhofer ENAS, Chemnitz |
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Fatigue analysis of anisotropic copper-vias in a circuit board |
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B. E. Abali, F. A. Reich, W. H. Müller, Technische Universität Berlin |
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Röntgeninspektion für die Mikro- und Nano-Elektronik und Mikrosystemtechnik |
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M. Oppermann, T. Zerna, TU Dresden |
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Vollautomatische nanorobotische Bestückung von mikroskaligen Magazinen im Raster-elektronenmikroskop |
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M. Bartenwerfer1 , S. Fatikow1,2 1 Universität Oldenburg 2 Institut für Informatik (OFFIS), Oldenburg |
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Mikrotechnische Umsetzung eines integriert optischen Michelson-Interferometers für Auflösungen im Sub-Nanometerbereich |
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E. Markweg1, M. Hoffmann2, O. Mollenhauer1 1 TETRA Gesellschaft für Automation und Sensorik mbH, Ilmenau 2 IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau |
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Hybride Integration von Silicium- und LTCC Technologie zur Herstellung verstimmbarer Zylinderlinsen |
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S. Leopold, D. Pätz, S. Sinzinger, J. Müller, M. Hoffmann, IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau |
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Elektronen-Feld-Emitter auf Basis metallischer Nanodrähte |
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F. Roustaie1, S. Wilfert2, S. Quednau1, F. Dassinger1, H. F. Schlaak1 1 Technische Universität Darmstadt 2 GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung GmbH, Darmstadt |
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Automated reel-to-reel fluidic self-assembly enabling the production of solid state lighting panels |
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Se-Chul Park1, J. Fang1, S. Biswas2, M. Mozafari2, T. Stauden2, H. O. Jacobs2 1 University of Minnesota, Minneapolis, USA 2 IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau |
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Temperatur- und Feuchtsensor basierend auf planarisierten LTCC-Oberflächen |
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B. Goj, H. Bartsch, S. Hanitsch, M. Hoffmann, J. Müller, Institute of Micro and Nanotechnologies®, TU Ilmenau |
16:00 |
Impulsvortrag Perspektiven von MEMS-Sensoren im Bereich der zivilen Sicherheit |
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G. Müller, Hochschule München |
16:45 |
Führung durch das Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano® der TU Ilmenau |
17:30 |
Ende des Workshops |