5. GMM Workshop Mikro-Nano-Integration  

Programm 

Das Konferenz Programm kann hier als PDF-Dokument herunter geladen werden:

Programm Micro Nano 2014 


 Mittwoch, 8. Oktober 2014

09:00   Sitzung des Fachausschusses 4.7 Mikro-Nano-Integration der GMM            
Gäste sind willkommen, um Anmeldung wird gebeten (mni-workshop2014@tu-ilmenau.de)
11:00 Registrierung / Imbiss
Foyer im Meitnerbau der TU Ilmenau
12:00 Begrüßung
12:15 Impulsvortrag
Massive und nanoporöse Nanostrukturen: Nano-Partikel, Nano-Legierungspartikel, Nanosäulen und Nano-Komposite – Herstellung und Anwendung
P. Schaaf, IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau
12:45 Kurzvorträge – Technologien der MNI
je 7 Minuten, anschließend Posterdiskussion
Inkjet-Technologie zum Bedrucken dreidimensionaler kunststoffbasierter Substrate
V. Matic1, J. Keck1, B. Polzinger1,  Eberhardt1, U. Buerklin2, K. Keller2, H. Kück1,3
1 HSG-IMAT, Stuttgart
2 SCHMID Technology GmbH, St. Leon Rot
3 IFM Universität Stuttgart
Integration von ZnO Nanopartikel Dünnschicht-Transistoren durch Sprühbeschichtung
F. F. Vidor , U. Hilleringmann, Universität Paderborn
ZnO-Feldeffekttransistoren für flexible elektronische Schaltungen
U. Hilleringmann, F. Vidor, Universität Paderborn
Abscheidung von Ag Nanopartikel Zwischenschichten für das Wafer- und Chip-level Packaging
F. Roscher1, T. Seifert1, M. Wiemer2, T. Gessner2
1 TU Chemnitz, Chemnitz, 
2 Fraunhofer ENAS, Chemnitz
Nadelstrukturen durch elektrochemisches HF-Ätzen von n-Silizium
E. Pignanelli1, F. Emmerich2, A. Schütze1,2
1 ZeMA - Zentrum für Mechatronik und Automati¬
  sierungstechnik gGmbH, Saarbrücken
2 Universität des Saarlandes, Saarbrücken
Untersuchung der thermoelektrischen Eigenschaften von sub-mikrometer Silizium-Säulen
A. Stranz, A. Waag, E. Peiner, Technische Universität Braunschweig
Nano-engineered three-dimensional core/shell nanotube arrays towards the realization of high performance micro electrochemical capacitors
F. Grote,  Y. Lei, IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau
UV-imprinting for the integration of inkjetprinted micro-optical element
L. Jacot-Descombes, A. Schleunitz, J. Klein,
S. Grützner, F. Bullerjahn, G. Grützner, micro resist technology GmbH, Berlin
Micro enables Nano - Active Cantilever Microsystems for Single Digit Nanofabrication
M. Kaestner1, T. Ivanov1, S. Lenk1, H. Lipowicz1, Y. Krivoshapkina1, A. Ahmad1, T. Angelov1, E. Guliyev1, A. Reum1,2, M. Budden1, M. Hofer1, M. Holz1,2 , I. W. Rangelow1
1 IMN MacroNano®, TU Ilmenau
2 Nano Analytik GmbH, Ilmenau
Nano and macro porous membranes à la carte
P. Göring, M. Lelonek, SmartMembranes GmbH, Halle
15:30 Vortrag zur Abendveranstaltung
Sensordaten: Was braucht der Operator wirklich? - Nutzerzentrierte Entwicklung eines Decision Support Systems für die Ereignisprävention in Straßentunnels
H. Krömker, Techische Universität Ilmenau
16:30 Bustransfer zum Rennsteigtunnel
Abfahrt: Mensa
17:30 Besichtigung des Rennsteigtunnels und der Steuerzentrale für Tunnelüberwachung und Tunnelmanagement
20:00 Abendveranstaltung
Hotel Tanne
Lindenstraß 38, 98693 Ilmenau


 Donnerstag, 9. Oktober 2014

09:00   Beginn des 2. Workshop-Tages            
12:45 Impulsvortrag
MNI-basierte Sensorik zur Zustandsüber-wachung von Hydraulik- und Schmiersystemen:
Zustandsorientierte Instandhaltung, Erhöhen der Verfügbarkeit, Ressourcenschonung
H. Mannebach, HYDAC ELECTRONIC GmbH, Saarbrücken
Kurzvorträge – Mikrosensorik u. Messtechnik
je 7 Minuten, anschließend Posterdiskussion
Elektrisch-angeregte Plasmonenresonanzen in metallischen Hybrid-Nanostrukturen als innovatives Sensorkonzept für die Bioanalytik
A. Dathe, M. Ziegler, U. Hübner, O. Stranik, W. Fritzsche, Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (IPHT) Jena
Nanostrukturen als Problemlöser – Emissionserhöhung und Interferenzvermeidung am Beispiel eines IR-basierten Fluidsensors
L. Müller1, S. Günschmann1, M. Fischer1, J. Müller1, I. Käpplinger2, S. Biermann3, W. Brode2, M. Hoffmann1
1 IMN MacroNano®, Technische Universität
  Ilmenau 
2 Siegert TFT GmbH, Hermsdorf
3 Micro-Hybrid Electronic GmbH, Hermsdorf
Kalibrierbarer Mikrokraftsensor zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten
T. Frank1, C.Löbner1, S. Völlmeke1, A. Steinke1,
L. Doering2
1 CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und
  Photovoltaik GmbH, Erfurt
2 Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB),
  Braunschweig und Berlin
Selective surface modification of silicon microcantilever sensors with micro/nanostructures
H. S. Wasisto1,4, F. Yu1,4, F. Steib1,4, L. Doering2, U. Brand2, S. Völlmeke3, A. Waag1,4, E. Peiner1,4
1 Technische Universität Braunschweig
2 Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB),
  Braunschweig
3 CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und
  Photovoltaik GmbH, Erfurt
4 Laboratory of Emerging Nanometrology,
  Braunschweig
Localized Collection of Airborne Analytes: A Transport Driven Approach to Improve the Response Time of Existing Gas Sensor Designs including SERS based Detection of Small Molecules
J. Fang1, Se-Chul Park1, L. Schlag2, T. Stauden2,
J. Pezoldt2 , H. O. Jacobs2
1 University of Minnesota, Minneapolis, USA
2 IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau
Genzflächendiffusions- und Adhäsionsverhalten von Epoxidharzen für mikroelektronische Sensorapplikationen
H. Walter1, J.Bauer1, T.Braun1, O.Hölck1,2, B.Wunderle2, M.Schulz3 ,J. Keller3, O.Wittler1, K. D. Lang1,4
1 Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und
  Mikrointegration, Berlin
2 TU Chemnitz
3 Amic Angewandte Micro-Messtechnik GmbH
4 TU Berlin
Selektive Erzeugung von Nanostrukturen auf einer Waferoberfläche zur Realisierung von optischen und mechanischen Funktionen beim Aufbau eines Echtzeitölsensors
S. Günschmann, L. Müller, M. Fischer,
M. Hoffmann, J. Müller, IMN MacroNano®, Technische Universität  Ilmenau
Funktionale Integration bei magnetoresistiven Sensoren
R. Slatter1, H. Grimm2, C. Glenske1
1 Sensitec GmbH, Lahnau
2 Sensitec GmbH, Mainz
Integrated opto-chemical sensor system based on group III-nitride nanowires
R. Kleindienst1, M. Krüger1, A. Grewe1, S. Sinzinger1, K. Holc2, J. Schätzle2, V. Cimalla2, U.T. Schwarz2,3, P. Becker4, P. Hille4, J. Schörmann4, J. Teubert4, M. Eickhoff4
1 IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau
2 Fraunhofer Institut für Angewandte Festkörperphysik, Freiburg,
3 IMTEK, Universität Freiburg
4 Justus-Liebig-Universität Gießen
12:00 Round Table Gespräch: MNI & Industrie 4.0
12:45 Mittagspause
Foyer des Meitnerbaus
13:30 Kurzvorträge – AVT und Zuverlässigkeit
je 7 Minuten, anschließend Posterdiskussion 
Mikro- und nanoskalige, mechanische Charakterisierung von MEMS für Zuverlässigkeitsbewertungen
D. Vogel, E. Auerswald, J.  Brückner, B. Michel, S. Rzepka, Fraunhofer ENAS, Chemnitz
Fatigue analysis of anisotropic copper-vias in a circuit board
B. E. Abali, F. A. Reich, W. H. Müller, Technische Universität Berlin
Röntgeninspektion für die Mikro- und Nano-Elektronik und Mikrosystemtechnik
M. Oppermann, T. Zerna, TU Dresden
Vollautomatische nanorobotische Bestückung von mikroskaligen Magazinen im Raster-elektronenmikroskop
M. Bartenwerfer1 , S. Fatikow1,2
1 Universität Oldenburg
2 Institut für Informatik (OFFIS), Oldenburg
Mikrotechnische Umsetzung eines integriert optischen Michelson-Interferometers für Auflösungen im Sub-Nanometerbereich
E. Markweg1, M. Hoffmann2, O. Mollenhauer1
1 TETRA Gesellschaft für Automation und Sensorik mbH, Ilmenau
2 IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau
Hybride Integration von Silicium- und LTCC Technologie zur Herstellung verstimmbarer Zylinderlinsen
S. Leopold, D. Pätz, S. Sinzinger, J. Müller, M. Hoffmann, IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau
Elektronen-Feld-Emitter auf Basis metallischer Nanodrähte
F. Roustaie1, S. Wilfert2, S. Quednau1, F. Dassinger1, H. F. Schlaak1
1 Technische Universität Darmstadt
2 GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung GmbH, Darmstadt
Automated reel-to-reel fluidic self-assembly enabling the production of solid state lighting panels
Se-Chul Park1, J. Fang1, S. Biswas2, M. Mozafari2, T. Stauden2, H. O. Jacobs2
1 University of Minnesota, Minneapolis, USA
2 IMN MacroNano®, Technische Universität Ilmenau
Temperatur- und Feuchtsensor basierend auf planarisierten LTCC-Oberflächen
B. Goj, H. Bartsch, S. Hanitsch, M. Hoffmann, J. Müller, Institute of Micro and Nanotechnologies®, TU Ilmenau
16:00 Impulsvortrag
Perspektiven von MEMS-Sensoren im Bereich der zivilen Sicherheit
G. Müller, Hochschule München 
16:45 Führung durch das Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano® der TU Ilmenau
17:30 Ende des Workshops

 Kooperationspartner

Macro Nanon
 
 
Impressum | © 2010 VDE Verband der Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik e.V.