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Programm Micro Nano 2012
Montag, 12. November 2012
15:00 Sitzung des Fachausschusses 4.7 Mikro-Nano-Integration der GMM
Gäste sind willkommen; um Anmeldung wird gebeten
16:15 Bustransfer
17:00 Abendprogramm
17:00 Besuch der Berliner Unterwelten
19:00 Treffen im Restaurant Neumann's
Dienstag, 13. November 2012
08:00 Registrierung
08:30 Begrüßung
Einführungsvortrag
Advanced Micro Nano Integration – Core Process for Smart System Assembly
K.-D. Lang, Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM, Berlin
09:15- 11:30 Kurzvorträge
je 5 Minuten, anschließend Posterdiskussion / Kaffee
AVT von Nanostrukturen von und mit Nanostrukturen in/auf Mikrosystemen
- 1D-Nanostructures for 3D-Packaging
L. Aryasomayajula, M. Graf, K.-J. Wolter Technische Universität Dresden
- Nanotechnologien im Packaging - Neue Materialien und Verfahren für die Mikrosystemtechnik
F. Roscher, M. Baum, J. Besser, J. Bräuer, M. Wiemer, T. Geßner, Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS, Chemnitz
- Health Monitoring durch in-situ Messung der Eigenspannungen im Package
F. Rost1, F. Schindler-Saefkow1,2,M. Schulz2,3, A. Otto1, S. Rzepka1, B. Michel1
1 Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS, Chemnitz
2 AMIC GmbH, Berlin
3 Technische Universität Chemnitz
- Integration of nanostructures using AC electrical fields as an approach to low-cost electrical sensing for optical or chemical signals
C. Leiterer, S. Berg, N. Jahr, G. Brönstrup, M. Urban, S. Christiansen, W. Fritzsche
Institut für Phtonoische Technologien Jena
Erzeugung von Nanostrukturen und Meta-Materialien in/auf Mikrosystemen
- Direkte Integration von Kohlenstoff-Nanoröhren (CNT) auf CMOS mit Wolfram-Metallisierung
A. Jupe, A. Goehlich, H. Vogt, Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS, Duisburg
- Thermische und mechanische Eigenschaften von Widerständen aus gedruckten Kohlenstoffnanoröhren
A. Ilchmann1, F. Brogiel2, W. Eberhardt1, B. Polzinger2, H. Kück1,2
1 HSG IMAT, Stuttgart
2 IZFM, Universität Stuttgart
- Silicium-Metall Nanostrukturen mit ultrahoher Absorption im infraroten Strahlungsbereich
L. Müller, M. Hoffmann, Technische Universität Ilmenau
Enhancement of humidity barrier properties of polymers with micro- and nano-sized filler particles
T. Braun1, J. Bauer1, L. Georgi2, K.-F. Becker1, M. Koch1, R. Aschenbrenner1, K.-D. Lang2
1 Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und
Mikrointegration IZM, Berlin
2 Technische Universität Berlin
- Charakterisierung des feuchteinduzierten Schwellverhaltens von mikroelektronisch relevanten Werkstoffsystemen
H. Walter1, J. Bauer1, T. Braun1, O. Hölck1,2, B. Wunderle2, J. Keller3, O. Wittler1, K.-D. Lang1
1 Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und
Mikrointegration, Berlin
2 Technische Universität Chemnitz
3 AMIC GmbH, Berlin
11:30 Impulsvortrag
MNI-Lösungskonzepte in der chemischen Sensorik
M. Fleischer, Siemens AG, München
12.15 Mittagspause
13:15 Impulsvortrag
Nanoimprint Lithographie als Wegbereiter innovativer Prozessketten für die 3D Nanostrukturierung
A. Schleunitz1,2 , H. Schift2, M. Vogler1 G. Grützner1
1 micro resist technology GmbH Berlin
2 Paul Scherrer Institut, Villigen, Schweiz
14:00- 16:00 Kurzvorträge
je 5 Minuten, anschließend Posterdiskussion/ Kaffeepause
Anwendungsbeispiele und Systeme, die die Mikro-Nano-Integration nutzen
- Dimensionierung und Technologiekonzept für eine neuartige Mikropumpe ohne bewegliche mechanische Teile
L. Dittrich, C. Endrödy, M. Hoffmann
Technische Universität Ilmenau
- Sensorfilter – ein intelligentes Mikro-Filtersystem in Folientechnologie für Anwendungen in Prozesskontrolle, Zellkultur und Life Sciences
M. Alberti, L. Meixner, A. Rückerl, M. Eder, H.-E. Endres, K. Bock, Fraunhofer-Einrichtung für Modulare Festkörper-Technologien EMFT, München
- Concept of the Patra-particle transporter with simulated particle movement
A. Rockenbach1, C: Brücker2, U. Schnakenberg1
1 RWTH Aachen
2 TU Bergakademie Freiberg
- Flüssigkeitsanalyse mittels Fractional-Order Sensoren
B. Schmitt1, K. Biswas2, A. Schütze1
1 Universität des Saarlandes
2 Indian Institute of Technology, Kharagpur, Indien
- Erkennung von flüchtigen organischen Verbindungen mit Hilfe von mikro-nanostrukturierten Sensoren
M. Schüler, T. Sauerwald, P. Reimann, A. Schütze, Universität des Saarlandes
- Nanorobotische Strategien für die systematische Exfoliation, Handhabung und Charakterisierung von Graphen
S. Zimmermann, V. Eichhorn, S. Fatikow, Universität Oldenburg
- Oberflächenstabilisierung nanostrukturierter poröser Siliziumschichten für sensorische Anwendungen
A. Kovacs, A. Ivanov, U. Mescheder, Hochschule Furtwangen
- Einsatz von integrierten Nanostrukturen in Mikrosystemen
F. Dassinger, S. Quednau, F. Greiner,
H. F. Schlaak, Technische Universität Darmstadt
16:00 Anwendungen der MNI
Wachstumskern BASIS - Anwendnung von Nanostrukturen in bio-technischen Interfaces
O. Mollenhauer, TETRA Gesellschaft für Sensorik, Robotik und Automation mbH Ilmenau
16:30 Ende des Workshops